(과제) 방사선 감도가 우수하고, 또한 저(低)유전율이고 투명성이 우수한 경화막을 형성할 수 있는 감방사선성 조성물을 제공하는 것.(해결 수단) [A] 식 (1)로 나타나는 부분 구조를 갖는 제1 구조 단위와, 식 (2)로 나타나는 부분 구조를 갖는 제2 구조 단위를, 동일 분자 내 또는 상이한 분자 내에 포함하는 중합체 성분과, [B] 광 산 발생제를 함유하고, 중합체 성분의 전체 구조 단위에 대하여, 제1 구조 단위를 5∼50질량% 포함하고, 제2 구조 단위를 0.1∼20질량% 포함하는 감방사선성 조성물로 한다.식 (1) 중, Ar1은 2가의 방향환기이다.Y1은 산 해리성기이다.식 (2) 중, R1, R2 및 R3은, 서로 독립적으로, 수소 원자, 할로겐 원자, 하이드록시기, 탄소수 1∼6의 알콕시기, 탄소수 1∼10의 알킬기, 또는 페닐기이다.단, R1, R2 및 R3 중 1개 이상은, 탄소수 1∼6의 알콕시기이다.「*」는, 탄소 원자에 결합하는 결합손을 나타낸다.
- 출원번호 : 10-2024-0052444
- 출원인 : 제이에스알 가부시끼가이샤
- 특허번호 :
- IPC : G03F-007/004;G03F-007/031;G03F-007/039;G03F-007/075;G03F-007/20;G03F-007/26;G03F-007/40;