(과제) 본 발명은, 감도, 기판 밀착성 및, 저아웃 가스성을 충분한 레벨로 발휘할 수 있는 경화막을 형성 가능한 감방사선성 조성물, 당해 감방사선성 조성물로 형성된 경화막 및 그의 제조 방법, 당해 경화막을 구비하는 반도체 소자, 표시 소자를 제공하는 것을 목적으로 한다.(해결 수단) 본 발명은, 하기식 (1)로 나타나는 기를 갖는 구조 단위 (I)을 포함하는 중합체 및 실록산 폴리머로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 규소 함유 중합체 (A)와, 1개 이상의 환 구조 및 2개 이상의 에폭시기를 갖는 에폭시기 함유 화합물 (B)(단, 상기 규소 함유 중합체 (A)를 제외한다.)와, 광 산 발생제 (C)를 함유하는 감방사선성 조성물에 관한 것이다.(식 (1) 중, R1, R2 및 R3은, 각각 독립적으로, 수소 원자, 할로겐 원자, 하이드록시기, 탄소수 1∼6의 알콕시기, 탄소수 1∼10의 알킬기, 또는 페닐기이다.단, R1, R2 및 R3 중 적어도 1개는, 탄소수 1∼6의 알콕시기이다.「*」는, 결합손인 것을 나타낸다.)
- 출원번호 : 10-2024-0071323
- 출원인 : 제이에스알 가부시끼가이샤
- 특허번호 :
- IPC : G03F-007/075;G03F-007/039;G03F-007/20;G03F-007/26;G03F-007/40;